天下级半导体装备后备军。中微半导体装备（上海）股分局限公司的主停业务是半导体装备及泛半导体装备的研发、出产和发卖。公司的首要产物有电容性等离子体刻蚀装备，电理性等离子体刻蚀装备，MOCVD装备，VOC装备。

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